A receita de AXCELIS TECHS INC no último ano foi de 951.90 M CHF, a maior parte da qual — 935.62 M CHF — veio da sua fonte de melhor performance no momento, Ion Implantation Systems and Services, que no ano anterior gerou 830.53 M CHF. A maior contribuição para o valor da receita foi feito por Estados Unidos — que ano anterior gerou para AXCELIS TECHS INC 630.85 M CHF, e no ano anterior a esse — 586.35 M CHF.