A receita de ASML no último ano foi de 28.26 B EUR, a maior parte da qual — 9.67 B EUR — veio da sua fonte de melhor performance no momento, Argon Fluoride Immersion, que no ano anterior gerou 9.02 B EUR. A maior contribuição para o valor da receita foi feito por China — que ano anterior gerou para ASML 10.20 B EUR, e no ano anterior a esse — 7.25 B EUR.